論文 - 市村 正也
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Deposition of Amorphous SexTe1-x Thin Film Alloys by a Novel Photochemical Deposition Technique and Their Analysis
R. Kumaresan, M. Ichimura, N. Sato, P. Ramasamy, and E. Arai
J. Electrochem. Soc. 149 ( 9 ) C464 - C468 2002年04月
掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Application of Novel Photochemical Deposition Technique for the Deposition of Indium Sulfide 査読あり
R. Kumaresan, M. Ichimura, N. Sato, P. Ramasamy
Mater. Sci. Eng. B 96 ( 7 ) 37 - 42 2002年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Photochemical Deposition of ZnSe Polycrystalline Thin Films and Their Characterization 査読あり
R. Kumaresan, M. Ichimura and E. Arai
Thin Solid Films 414 ( 7 ) 25 - 30 2002年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Boron Diffusion Profiles in Ultrathin Silicon-on-Insulator Structures and Their Relation to Crystalline Quality 査読あり
H. Uchida, M. Ichimura and E. Arai
Jpn. J. Appl. Phys. 41 ( 7 ) 4436 - 4441 2002年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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M. Ichimura, A. Tada, E. Arai, H. Takamatsu, S. Sumie
Appl. Phys. Lett. 80 ( 23 ) 4390 - 4392 2002年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Preparation of (Bi, Sb)2S3 Semiconductor Films by Photochemical Deposition Method 査読あり
H. Sasaki, K. Shibayama, M. Ichimura and K. Masui
J. Cryst. Growth 237-239 ( 7A ) 2125 - 2129 2002年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Changes in Carrier Profiles of Bonded SOI Wafers with Thermal Annealing Measured by the Spreading Resistance Method 査読あり
M. Ichimura, S. Ito, and E. Arai
Solid St. Electron 46 ( 7A ) 545 - 553 2002年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Characterization of Si Wafer Surfaces after Wet Chemical Treatment by the Microwave Reflectance Photoconductivity Decay Method withSurface Electric Field 査読あり
A. Tada, M. Ichimura, E. Arai, H. Takamatsu, and S. Sumie
Jpn. J. Appl. Phys. 40 ( 5A ) 3069 - 3074 2001年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Photochemical Deposition of Se and CdSe from Aqueous Solutions 査読あり
M. Ichimura, A. Nakamura, K. Takeuchi, and E. Arai
Thin Solid Films 384 ( 4B ) 157 - 159 2001年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Passivation of Deep Levels in 3C-SiC on Si by a Hydrogen Plasma Treatment 査読あり
M. Kato, F. Sobue, M. Ichimura, E. Arai, N. Yamada, Y. Tokuda, and T. Okumura
Jpn. J. Appl. Phys. 40 ( 4B ) 2983 - 2986 2001年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Electrical and Optical Properties of CdS Films Grown by Photochemical Deposition from Aqueous Solutions 査読あり
R. Kumaresan, M. Ichimura, K. Takahashi, K. Takeuchi, F. Goto, and E. Arai
Jpn. J. Appl. Phys. 40 ( 5A ) 3161 - 3162 2001年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Deep Level Study in Heteroepitaxial 3C-SiC Grown on Si by Hexamethyldisilane 査読あり
M. Kato, M. Ichimura, E. Arai, Y. Masuda, Y. Chen, S. Nishino, and Y. Tokuda
Jpn. J. Appl. Phys. 40 ( 8 ) 4943 - 4947 2001年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Sacrificial Anodic Oxidation of 6H-SiC 査読あり
M. Kato, M. Ichimura, and E. Arai
Jpn. J. Appl. Phys. 40 ( 11A ) L1145 - L1147 2001年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Quality Assessment of Bridgman Grown CdTe Single Crystals using Double Crystal X-ray Diffractometry (DCD) and Synchrotron Radiation
R Kumaresan, R. Gopalakrishnan, S. Moorth Babu, P. Ramasamy, P. Zaumseil, and, M Ichimura
J. Crystal. Growth 210 ( 11 ) 193 - 197 2000年04月
掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Retarded Diffusion of Phosphorus in Silicon-on-Insulator Structures 査読あり
H. Uchida, Y. Ieki, M. Ichimura, and E. Arai
Jpn. J. Appl. Phys. 39 ( 2B ) L137 - L140 2000年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Electrochemical Deposition of SnS Thin Films 査読あり
M. Ichimura, K. Takeuchi, Y. Ono, and E. Arai
Thin Solid Films 361-362 ( 12A ) 98 - 101 2000年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Characterization of Si Wafers by μ-PCD with Surface Electric Field 査読あり
M. Ichimura, M. Hirano, A. Tada, E. Arai, H. Takamatsu, and S. Sumie
Mater. Sci. Eng. B 73 ( 12A ) 230 - 234 2000年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Slow Decay of Excess Carrier Concentration in Bonded Silicon-on-Insulator Wafers 査読あり
M. Hirano, M. Ichimura, and E. Arai
Jpn. J. Appl. Phys. 39 ( 12A ) 6513 - 6514 2000年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Deposition of CdS and ZnS from Aqueous Solutions by a New Photochemical Technique 査読あり
M. Ichimura, F. Goto, Y. Ono, and E. Arai
J. Cryst. Growth 198-199 ( 3 ) 308 - 312 1999年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)
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Photochemical Deposition of CdS from Aqueous Solutions 査読あり
M. Ichimura, F. Goto, and E. Arai
J. Electrochem. Soc. 146 ( 3 ) 1028 - 1034 1999年04月
記述言語:英語 掲載種別:研究論文(学術雑誌)