講演・口頭発表等 - 久保 俊晴

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  • Impacts of oxidants for ALD process on Al2O3/GaN interface properties 国際会議

    N. Taoka, T. Kubo, T. Yamada, T. Egawa, M. Shimizu

    ISPlasma2017  The Japan Society of Applied Physics

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    開催年月日: 2017年03月

    記述言語:英語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:Chubu university  

  • Al2O3/GaN MOS 界面における表面ポテンシャル揺らぎの Al2O3形成温度依存性

    田岡紀之, 久保俊晴, 山田寿一, 江川孝志, 清水三聡

    第22回電子デバイス界面テクノロジー研究会  電子デバイス界面テクノロジー研究会

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    開催年月日: 2017年01月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東レ研修センター, 静岡  

  • Electron-spin-resonance studies of AlGaN/GaN MIS-HEMT structures with Al2O3 and HfO2 fabricated by atomic layer deposition 国際会議

    Toshiharu Kubo, Takashi Egawa

    SISC2016  IEEE

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:San Diego  

  • Large Surface Potential Fluctuation at ALD-Al2O3/GaN MOS Interfaces 国際会議

    N. Taoka, T. Kubo, T. Yamada, T. Egawa, and M. Shimizu

    SISC2016  IEEE

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    開催年月日: 2016年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Sandiego  

  • ALD-SiO2/AlGaN/GaN MIS-HEMTの電気特性における成膜温度依存性

    久保俊晴, 江川孝志

    第77回応用物理学会秋季学術講演会  応用物理学会

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    開催年月日: 2016年09月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:新潟コンベンションセンター  

  • GaN MOS 界面における表面ポテンシャル揺らぎの絶縁膜形成 温度依存性

    田岡紀之、久保俊晴、山田寿一、江川孝志、清水三聡

    第77回応用物理学会秋季学術講演会  日本応用物理学会

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    開催年月日: 2016年09月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:朱鷺メッセ、新潟  

  • Niパターン凝集を用いて作製したサファイヤ基板上グラフェン膜の評価

    有馬幸記, 三好実人, 久保俊晴, 江川孝志

    第77回応用物理学会秋季学術講演会  応用物理学会

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    開催年月日: 2016年09月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:新潟コンベンションセンター  

  • 放射光を用いたX線光電子分光による成膜後アニールを施したALD-HfO2/AlGaN界面の評価

    久保俊晴, 西野剛介, 江川孝志

    第63回応用物理学会春季学術講演会  日本応用物理学会

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    開催年月日: 2016年03月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:東京工業大学  

  • Niパターン凝集を用いて作製したサファイヤ基板上グラフェン膜の評価

    有馬幸記、三好実人、久保俊晴、江川孝志

    第63回応用物理学会春季学術講演会  日本応用物理学会

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    開催年月日: 2016年03月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:東京工業大学  

  • 放射光を用いた軟X線光電子分光による絶縁膜/AlGaN界面における化学状態評価

    久保俊晴, 西野剛介, 三好実人, 江川孝志

    第11回日本表面科学会放射光表面科学研究部会・SPring-8ユーザー協同体顕微ナノ材料科学研究会合同シンポジウム  日本表面科学会

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    開催年月日: 2016年03月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大型放射光施設SPring-8  

  • 軟X線光電子分光によるSi基板上窒化物半導体と絶縁体との界面における電子状態解析

    久保俊晴, 西野剛介, 三好実人, 江川孝志

    あいちシンクロトロン光センター成果発表会  あいちシンクロトロン光センター

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    開催年月日: 2016年03月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:ミッドランドホール  

  • Effect of Post-deposition Annealing on Threshold Voltage and Interface States 国際会議

    Toshiharu Kubo, Gosuke Nishino, Takashi Egawa

    SISC2015  IEEE

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    開催年月日: 2015年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Washington DC  

  • ALD により成膜した HfO2を用いた AlGaN/GaN MIS-HEMT の界面準位とデバイス特性

    西野剛介, 久保俊晴, 江川孝志

    電子デバイス研究会  電子情報通信学会

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    開催年月日: 2015年11月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:大阪市立大学 学術情報センター会議室  

  • Analysis of Post-Deposition Annealing Effects on Insulator/Semiconductor Interface of Al2O3/AlGaN/GaN High-Electron-Mobility Transistors on Si Substrates 国際会議

    Toshiharu Kubo, Makoto Miyoshi, Takashi Egawa

    SSDM2015  The Japan Society of Applied Physics

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    開催年月日: 2015年09月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:Sapporo Convention Center  

  • Niパターンを用いて作製したSi基板上グラフェン膜の電気特性評価

    有馬幸記、三好実人、久保俊晴、江川孝志

    第76回応用物理学会秋季学術講演会  日本応用物理学会

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    開催年月日: 2015年09月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

    開催地:名古屋国際会議場  

  • 放射光を用いたX線光電子分光による成膜後アニールを施したALD-Al2O3/AlGaN界面の評価

    久保俊晴、三好実人、江川孝志

    第76回応用物理学会秋季学術講演会  日本応用物理学会

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    開催年月日: 2015年09月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

    開催地:名古屋国際会議場  

  • Ni凝集を利用した転写フリープロセスによるグラフェントランジスタ作製

    水野 正也, 久保 俊晴, 三好 実人, 江川 孝志, 曽我 哲夫

    2015年第62回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2015年03月

    記述言語:日本語   会議種別:ポスター発表  

  • AlGaN上にALD成膜したHfO2を用いたMIS-HEMTの電気的特性

    西野 剛介, 吉田 雄祐, 久保 俊晴, 三好 実人, 江川 孝志

    2015年第62回応用物理学会春季学術講演会 

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    開催年月日: 2015年03月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

  • Effect of post-deposition annealing on threshold voltage and interface states in ALD-Al2O3/AlGaN/GaN MIS-HEMTs on Si substrates 国際会議

    Toshiharu Kubo, Yusuke Yoshida, and Takashi Egawa

    SISC2014 

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    開催年月日: 2014年12月

    記述言語:英語   会議種別:ポスター発表  

  • 成膜後アニールによるALD-Al2O3/AlGaN/GaN MIS-HEMTの閾値シフト低減

    吉田雄祐,久保俊晴,三好実人,江川孝志

    第75回応用物理学会秋季学術講演会 

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    開催年月日: 2014年09月

    記述言語:日本語   会議種別:口頭発表(一般)  

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