論文 - 木村 高志

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  • Experimental study of capacitive He/O2 discharges at atmospheric pressure 査読あり

    T Kimura and T Hanai

    Japanese Journal of Applied Physics   45 ( 5 )   4219 - 4221   2006年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Dependences of Plasma Parameters on Dilution Gas Content in Inductively Coupled C2F6/Ar and C2F6/O2 Discharges 査読あり

    T Kimura and M Noto

    Japanese Journal of Applied Physics   44 ( 12 )   8667 - 8669   2005年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Ozone Production Efficiency in Atmospheric Dielectric Barrier Discharge of Oxygen Using a Time-Modulated Power Supply 査読あり

    T Kimura, Y Hattori and A Oda

    Japanese Journal of Applied Physics   43 ( 11 )   7689 - 7692   2004年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Effect of attaching gas addition on plasma parameters in inductive Ar/O2 and Ar/CF4 discharges 査読あり

    木村高志、高井智義

    Japanese Journal of Applied Physics   43 ( 10 )   7240 - 7248   2004年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Xe/O2ガス混合バリア放電のモデリング-O2ガス添加のXeバリア放電特性への影響- 査読あり

    小田昭紀、木村高志

    電気学会論文誌A   123 ( 12 )   1253 - 1258   2003年04月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Ozone production efficiency in atmospheric dielectric barrier discharge of oxygen/rare-gas mixture 査読あり

    木村高志、吉越健敏、小田昭紀

    Japanese Journal of Applied Physics   42 ( 8 )   5313 - 5314   2003年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Model and probe measurements of inductively coupled CF4 discharges 査読あり

    木村高志、大江一行

    Journal of Applied Physics   92 ( 4 )   1780 - 1787   2002年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Spatial Structure of Electronegative Ar/CF4 Plasmas in Capacitive RF Discharges 査読あり

    Kouji Kaga, Takashi Kimura, Takao Imaeda and Kazuyuki Ohe

    Japanese Journal of Applied Physics   40 ( 10 )   6115 - 6116   2001年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Spatial profile measurements of charged particles in capacitively coupled RF Oxygen discharges 査読あり

    加賀広持、木村高志、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   40 ( 1 )   330 - 331   2001年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Modelling finite cylinder electronegative discharges 査読あり

    Takashi Kimura, A J Lichtenberg and M.A. Lieberman

    Plasma Sources Science and Technology   10 ( 10 )   430 - 439   2001年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Investigation of electronegativity in a radio-frequency Xe/SF6 inductively coupled plasma using a Langmuir probe 査読あり

    木村高志、大江一行

    Applied Physics Letters   79 ( 18 )   2874 - 2876   2001年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Global model of inductively coupled Ar plasmas using two-temperature approximation 査読あり

    木村高志、大江一行

    Journal of Applied Physics   89 ( 8 )   4240 - 4246   2001年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Gap length dependence of electron energy distribution in low-pressure Ar capacitively coupled RF discharges 査読あり

    Takashi Kimura, Kouji Kaga and Kazuyuki Ohe 木村高志、 加賀広持、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   39 ( 3 )   1351 - 1357   2000年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Experimental investigations on Ne/CF4 inductively coupled discharges 査読あり

    木村高志、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   39 ( 1 )   282 - 286   2000年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Probe measurements and global model of inductively coupled Ar/ CF4 discharges 査読あり

    木村高志、大江一行

    Plasma Sources Science and Technology   8   553 - 560   1999年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Improvement of Ozone yielding rate in atmospheric pressure barrier discharges using a time-modulated power supply 査読あり

    大江一行、神谷聖人、木村高志

    IEEE Transactions on Plasma Science   27 ( 6 )   1582 - 1587   1999年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Experimental studies of O2/Ar plasma in a planar inductive discharge 査読あり

    J.T.Gudmundsson、Takashi Kimura and M.A. Lieberman

    Plasma Sources Science and Technology   8   22 - 30   1999年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • The spatial profiles of charged particles in a multipolar magnetically confined Ar-O2 plasma 査読あり

    木村高志、稲垣光二、大江一行

    Journal of Physics D   31   2295 - 2304   1998年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Formation of dip structure of electron energy distribution function in diffused Nitrogen plasmas 査読あり

    木村高志、中村匡利、大江一行

    Journal of the Physical Society of Japan   67 ( 10 )   3443 - 3449   1998年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Axial dependence of electron energy distribution in symmetrical rf Ar discharges 査読あり

    木村高志、加賀広持、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   36 ( 4 )   2336 - 2339   1997年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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