論文 - 木村 高志

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  • Properties of CrN/TiN multilayer films with nanoscale layer thickness 査読あり 国際誌

    Takashi Kimura, Hiroki Maeda

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   51 ( 2 )   327 - 332   2023年02月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEE  

    DOI: 10.1109/TPS.2022.3185148

  • Properties of multilayered CrN/VN films prepared using a hybrid system of high-power impulse magnetron sputtering and pulsed magnetron sputtering 査読あり 国際誌

    Takashi Kimura, Hiroki Maeda

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   51 ( 2 )   320 - 326   2023年02月

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    担当区分:筆頭著者, 責任著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEE  

    DOI: 10.1109/TPS.2022.3175190

  • Titanium silicon nitride films with low silicon content deposited via reactive high-power pulsed sputtering Penning discharge 査読あり 国際誌

    T. Kimura, R. Yoshida, K. Azuma

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   49 ( 1 )   53 - 60   2021年01月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEE  

    DOI: 10.1109/TPS.2020.3012159

  • Synthesis of hard diamond-like carbon films by double-pulse high-power impulse magnetron sputtering 査読あり 国際誌

    T. Kimura, K. Sakai

    Diamond & Related Materials   108   107996   2020年08月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier  

    DOI: 10.1016/j.diamond.2020.107996

  • Properties of titanium oxynitride films deposited on glass substrate by reactive high-power pulsed magnetron sputtering 査読あり 国際誌

    T. Kimura, T. Tanaka

    Japanese Journal of Applied Physics   59   SHHE03   2020年06月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:The Japan Society of Applied Physics  

    DOI: 10.7567/1347-4065/ab5e5b

  • Effects of adding hydrocarbon gas to a high-power impulse magnetron sputtering system on the properties of diamond-like carbon films 査読あり 国際誌

    T. Kimura, K. Sakai

    Thin solid films   701   137924   2020年05月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier  

    DOI: 10.1016/j.tsf.2020.137924

  • Preparation of silicon-doped diamond-like carbon films with electrical conductivity by reactive high-power impulse magnetron sputtering combined with a plasma-based ion implantation system 査読あり 国際誌

    Y. Shibata, T.Kimura, S. Nakao, K.Azuma

    Diamond & Related Materials   101   107635   2020年01月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier  

    DOI: 10.1016/j.diamond.2019.107635

  • Properties of titanium oxynitride films prepared by reactive high power pulsed magnetron sputtering

    T.Kimura, T. Tanaka

    XXXIV International COnference on Phenomena in ionzied gases   2019年07月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Deposition of Si-doped DLC films by reactive HiPIMS combined with PBII system

    T. Kimura , Y. Shibata, S. Nakao and K. Azuma

    Proceedings International symposium on sputtering & plasma processes   178 - 180   2019年06月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Preparation of titanium carbon nitride films by reactive high power pulsed sputtering Penning discharges 査読あり 国際誌

    Takashi Kimura, Ryo Yoshida, Kingo Azuma, Setsuo Nakao

    Vacuum   157   192 - 201   2018年11月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier  

    DOI: 10.1016/j.vacuum.2018.08.043

  • Comparative investigation on DLC films prepared by reactive high-power impulse magnetron sputtering of Ar/CH4 and Ar/C2H4 mixture

    K. Sakai, T. Kimura

    2018 International Symposium on Dry Process   2018年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Deposition and ion irradiation multi-process coating of diamond-like carbon films using bipolar type plasma based ion implantation

    S. Nakao, H. Yanai, T. Kimura, K. Azuma

    2018 International Symposium on Dry Process   2018年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Plasma based nitrogen ion implantation to hydrogenated diamond-like carbon films 査読あり 国際誌

    Takashi Kimura, Hidekazu Yanai, Setsuo Nakao, Kingo Azuma

    Nuclear Inst. and Methods in Physics Research B   433   87 - 92   2018年10月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier  

    DOI: 10.1016/j.nimb.2018.08.009

  • Preparation of TiN films by reactive high-power pulsed sputtering Penning discharges 査読あり

    Takashi Kimura, Ryo Yoshida, Toshihiko Mishima, Kingo Azuma, and Setsuo Nakao

    Japanese Journal of Applied Physics   57 ( 06JE02 )   1 - 6   2018年06月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:The Japan Society of Applied Physics  

    DOI: 10.7567/JJAP.57.06JE02

  • Preparation of TiN films by reactive high power pulsed sputter Penning-type discharges 査読あり

    T. Mishima, T. Kimura, R. Yoshida, K. Azuma, S. Nakao

    2017 International Symposium on Dry Process   2017年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Conductive diamond-like carbon films prepared by high power pulsed magnetron sputtering with bipolar type plasma based ion implantation system 査読あり 国際誌

    S. Nakao, T. Kimura, T. Suyama, K. Azuma

    Diamond and Related Materials   77   122 - 130   2017年07月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier  

    DOI: 10.1016/j.diamond.2017.06.011

  • Plasma Parameters of Titanium-Based Metallic Plasma Generated by a Compact-Type High-Power Pulsed Sputtering Penning Discharge 査読あり 国際誌

    Kingo Azuma and Takashi Kimura

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   44 ( 12 )   3201 - 3206   2016年12月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEE  

    DOI: 10.1109/TPS.2016.2615310

  • Preparation of titanium-doped diamond-like carbon films with electrical conductivity using high power pulsed magnetron sputtering system with bipolar pulse voltage source for substrate 査読あり 国際誌

    Takashi Kimura, Hikaru Kamata, Setsuo Nakao, and Kingo Azuma

    IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE   44 ( 12 )   3083 - 3090   2016年12月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:IEEE  

    DOI: 10.1109/TPS.2016.2587750

  • Properties of diamond-like carbon films prepared by high power pulsed sputtering with two facing targets 査読あり 国際誌

    Takashi Kimura, Toshihiko Mishima, Kingo Azuma, Setsuo Nakao

    surface and coating technology   307   1053 - 1058   2016年12月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:Elsevier  

    DOI: 10.1016/j.surfcoat.2016.07.030

  • Preparation of hydrogenated diamond-like carbon films using high-density pulsed plasmas of Ar/C2H2 and Ne/C2H2 mixture 査読あり

    Takashi Kimura and Hikaru Kamata

    Japanese Journal of Applied Physics   55   07LE02   2016年07月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:The Japan Society of Applied Physics  

    Hydrogenated diamond-like carbon films are prepared using reactive high-density pulsed plasmas of Ar/C2H2 and Ne/C2H2 mixture in the total pressure range from 0.5 to 2 Pa. The plasmas are produced using a reactive high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) system. A negative pulse voltage of -500 V is applied to the substrate for a period of 15 micro second in the afterglow mode. The growth rate does not strongly depend on the type of ambient gas but it markedly increases to about 2.7 micrometer/h at a C2H2 fraction of 10% and a total pressure of 2 Pa with increasing C2H2 fraction. The marked increase in the growth rate means that the HiPIMS system can be regarded as a plasma source for the chemical vapor deposition process. The hardness of the films prepared by Ne/C2H2 plasmas is somewhat higher than that of the films prepared by Ar/C2H2 plasmas under the same operating conditions, and the difference becomes larger as the pressure increases. The hardness of the films prepared by Ne/C2H2 plasmas ranges between 11 and 18 GPa. In the Raman spectra, two very broad overlapping bands are assigned as the G (graphite) and D (disorder) bands. The peak position of the G band is roughly independent of the total pressure, whereas the FWHM of the G peak decreases with increasing total pressure as a whole.

    DOI: 10.7567/JJAP.55.07LE02

  • Preparation of diamond-like carbon films using reactive Ar/CH4 high power impulse magnetron sputtering system with negative pulse voltage source for substrate 査読あり 国際誌

    Takashi Kimura, Hikaru Kamata

    Japanese Journal of Applied Physics   55   046201   2016年04月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)   出版者・発行元:The Japan Society of Applied Physics  

    Diamond-like carbon films were prepared using a reactive Ar/CH4 high-power impulse magnetron sputtering system with a negative pulse voltage source for the substrate, changing the CH4 fraction up to 15% in the total pressure range from 0.3 to 2 Pa. The magnitude of the negative pulse voltage for the substrate was also varied up to about 500V. The hardness of films monotonically increased with increasing magnitude of the negative pulse voltage. The films with hardnesses between 16.5 and 23GPa were prepared at total pressures less than 0.5 Pa and CH4 fractions less than 10% by applying an appropriate negative pulse voltage of 300–400V. In X-ray photoelectron spectroscopy, the area ratio C–C sp3/(C–C sp2 + C–C sp3) in the C 1s core level was higher than 30% at pressures less than 0.5 Pa and CH4 fractions less than 15%. On the other hand, the films with hardnesses between 5 and 10GPa were prepared with a relatively high growth rate at the partial pressures of CH4 higher than 0.1 Pa. However, the observation of the photoluminescence background in Raman spectroscopy indicated a relatively high hydrogen content.

    DOI: 10.7567/JJAP.55.046201

  • Surface treatment of diamond-like carbon films by reactive Ar/CF4 high-power pulsed magnetron sputtering plasmas 査読あり

    T.Kimura, R.Nishimura, K.Azuma, S.Nakao, T.Sonoda, T. Kusumori, K.Ozaki

    Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B   365   155 - 158   2015年12月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.1016/j.nimb.2015.03.020

  • Comparison study on diamond-like carbon films prepared by various methods 査読あり

    S.Nakao, T.Sonoda, J.Choi, H.Yasui, T.Kimura and K. Azuma

    International Symposium on sputtering & plasma processes   2015年07月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Formation of amorphous carbon nitride films by reactive Ar/N2 high-power impulse magnetron sputtering 査読あり

    Takashi Kimura, Ryotaro Nishimura

    Japanese Journal of Applied Physics   54 ( 01AD06 )   1 - 6   2015年01月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.54.01AD06

  • Formation of hydrogenated diamond-like carbon films by reactive Ar/CH4 high-power impulse magnetron sputtering 査読あり

    Takashi Kimura, Ryotaro Nishimura

    Japanese Journal of Applied Physics   53 ( 090301 )   1 - 4   2014年09月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

    DOI: 10.7567/JJAP.53.090301

  • Formation of Amorphous CNx Films by Reactive Ar/N2 High Power Impulse Magnetron Sputtering 査読あり

    木村高志、西村亮太郎

    8th International Conference on Reactive plasmas/31st Symposium on Plasma Processing   2014年02月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Properties of inductively coupled rf CH4/H2 plasmas:experiments and global model 査読あり

    Takashi Kimura and Hiroki Kasugai

    Japanese Journal of Applied Physic   51 ( 4 )   046202-1 - 046202-10   2012年04月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Deposition of diamond-like carbon films by high power pulsed magnetron sputtering 査読あり

    T. Kimura and M. Iida

    2011 International Symposium on Dry Process   121 - 122   2011年11月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Deposition of Fluorinated Diamond-Like-Carbon Films by Exposure of Electrothermal Pulsed Plasmas 査読あり

    Takashi Kimura, Masayasu Iida

    Japanese Journal of Applied Physics   50 ( 08 )   JD04   2011年08月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Experiments and global model of inductively coupled rf Ar/N2 discharges 査読あり

    Takashi Kimura, Hiroki Kasugai

    Journal of Applied Physics   108   033305-1 - 033305-9   2010年08月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Properties of inductively-coupled RF Ar/H2 plasmas :experiment and global model 査読あり

    Takashi Kimura, Hiroki Kasugai

    Journal of Applied Physics   107   83308   2010年04月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Comparison of properties of atmospheric pressure radio frequency He/SF6/O2 and He/CF4/O2 discharges 査読あり

    T Kimura and H Tanahashi

    Japanese Journal of Applied Physics   49   26102   2010年02月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Comparison of plasma parameters measured in inductively coupled Ar/C4F8/O2 and Ar/CF4/O2 plasmas 査読あり

    T Kimura and K Hanaki

    Japanese Journal of Applied Physics   48 ( 9 )   96004   2009年09月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Experimental study on properties of radio frequency He/CF4/O2 discharges at atmospheric pressure 査読あり

    T. Kimura and H Tanahashi

    Plasma Sources Science and Technology   18 ( 2 )   25002   2009年05月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • 大気圧ヘリウム直流グロ-放電の一次元流体シミュレ-ション 査読あり

    小田昭紀、木村高志

    電気学会論文誌A   129 ( 4 )   251 - 256   2009年04月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Experiments and global model analysis of inductively coupled CF4/O2/Ar plasmas 査読あり

    T Kimura and K Hanaki

    Japanese Journal of Applied Physics   47 ( 11 )   8537 - 8545   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Probe measurements and optical emission spectroscopy in inductively coupled Ar/CF4, Ar/NF3 and Ar/SF6 discharges 査読あり

    T Kimura and K Hanaki

    Japanese Journal of Applied Physics   47 ( 11 )   8546 - 8552   2008年11月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Experimental study on inductively coupled RF CF4/O2/Ar discharges 査読あり 国際誌

    T.Kimura, K.Hanaki and S.Shimagami

    Proceedings of 18th International Symposium on Plasma Chemistry (CD ROM)   110   2007年08月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Experimental study on atmospheric pressure RF capacitive He/CF4,He/C2F6 and He/SF6 discharges 査読あり 国際誌

    T.Kimura, H.Tanahashi, T.Mori

    Proceedings of 18th International Symposium on Plasma Chemistry (CD ROM)   167   2007年08月

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    担当区分:筆頭著者   記述言語:英語   掲載種別:研究論文(国際会議プロシーディングス)  

  • Experimental study and global model of inductively coupled CF4/O2 discharges 査読あり

    T Kimura and M Noto

    Journal of Applied Physics   100 ( 6 )   63303   2006年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Experimental study of capacitive He/O2 discharges at atmospheric pressure 査読あり

    T Kimura and T Hanai

    Japanese Journal of Applied Physics   45 ( 5 )   4219 - 4221   2006年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Dependences of Plasma Parameters on Dilution Gas Content in Inductively Coupled C2F6/Ar and C2F6/O2 Discharges 査読あり

    T Kimura and M Noto

    Japanese Journal of Applied Physics   44 ( 12 )   8667 - 8669   2005年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Ozone Production Efficiency in Atmospheric Dielectric Barrier Discharge of Oxygen Using a Time-Modulated Power Supply 査読あり

    T Kimura, Y Hattori and A Oda

    Japanese Journal of Applied Physics   43 ( 11 )   7689 - 7692   2004年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Effect of attaching gas addition on plasma parameters in inductive Ar/O2 and Ar/CF4 discharges 査読あり

    木村高志、高井智義

    Japanese Journal of Applied Physics   43 ( 10 )   7240 - 7248   2004年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Xe/O2ガス混合バリア放電のモデリング-O2ガス添加のXeバリア放電特性への影響- 査読あり

    小田昭紀、木村高志

    電気学会論文誌A   123 ( 12 )   1253 - 1258   2003年04月

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    記述言語:日本語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Ozone production efficiency in atmospheric dielectric barrier discharge of oxygen/rare-gas mixture 査読あり

    木村高志、吉越健敏、小田昭紀

    Japanese Journal of Applied Physics   42 ( 8 )   5313 - 5314   2003年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Model and probe measurements of inductively coupled CF4 discharges 査読あり

    木村高志、大江一行

    Journal of Applied Physics   92 ( 4 )   1780 - 1787   2002年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Spatial Structure of Electronegative Ar/CF4 Plasmas in Capacitive RF Discharges 査読あり

    Kouji Kaga, Takashi Kimura, Takao Imaeda and Kazuyuki Ohe

    Japanese Journal of Applied Physics   40 ( 10 )   6115 - 6116   2001年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Spatial profile measurements of charged particles in capacitively coupled RF Oxygen discharges 査読あり

    加賀広持、木村高志、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   40 ( 1 )   330 - 331   2001年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Modelling finite cylinder electronegative discharges 査読あり

    Takashi Kimura, A J Lichtenberg and M.A. Lieberman

    Plasma Sources Science and Technology   10 ( 10 )   430 - 439   2001年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Investigation of electronegativity in a radio-frequency Xe/SF6 inductively coupled plasma using a Langmuir probe 査読あり

    木村高志、大江一行

    Applied Physics Letters   79 ( 18 )   2874 - 2876   2001年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Global model of inductively coupled Ar plasmas using two-temperature approximation 査読あり

    木村高志、大江一行

    Journal of Applied Physics   89 ( 8 )   4240 - 4246   2001年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Gap length dependence of electron energy distribution in low-pressure Ar capacitively coupled RF discharges 査読あり

    Takashi Kimura, Kouji Kaga and Kazuyuki Ohe 木村高志、 加賀広持、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   39 ( 3 )   1351 - 1357   2000年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Experimental investigations on Ne/CF4 inductively coupled discharges 査読あり

    木村高志、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   39 ( 1 )   282 - 286   2000年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Probe measurements and global model of inductively coupled Ar/ CF4 discharges 査読あり

    木村高志、大江一行

    Plasma Sources Science and Technology   8   553 - 560   1999年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Improvement of Ozone yielding rate in atmospheric pressure barrier discharges using a time-modulated power supply 査読あり

    大江一行、神谷聖人、木村高志

    IEEE Transactions on Plasma Science   27 ( 6 )   1582 - 1587   1999年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Experimental studies of O2/Ar plasma in a planar inductive discharge 査読あり

    J.T.Gudmundsson、Takashi Kimura and M.A. Lieberman

    Plasma Sources Science and Technology   8   22 - 30   1999年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • The spatial profiles of charged particles in a multipolar magnetically confined Ar-O2 plasma 査読あり

    木村高志、稲垣光二、大江一行

    Journal of Physics D   31   2295 - 2304   1998年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Formation of dip structure of electron energy distribution function in diffused Nitrogen plasmas 査読あり

    木村高志、中村匡利、大江一行

    Journal of the Physical Society of Japan   67 ( 10 )   3443 - 3449   1998年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Axial dependence of electron energy distribution in symmetrical rf Ar discharges 査読あり

    木村高志、加賀広持、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   36 ( 4 )   2336 - 2339   1997年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Pressure dependences of electron energy distribution and power dissipation in symmetrical rf discharges of inert gases 査読あり

    木村高志、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   36 ( 3 )   1274 - 1281   1997年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Nonlocal particle loss effects on the electron kinetics in a direct current helium diffusion-controlled positive column 査読あり

    L Sirghi, Kazuyuki Ohe and Takashi Kimura

    Physics of Plasmas   4 ( 4 )   1160 - 1165   1997年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Electron behaviors in potential structure formed by applying external voltage to non-uniform Ne plasma 査読あり

    K Ohe, T.Kimura, A Kanbe, K Kaga and K Kawamura

    Journal of Physics D   30 ( 10 )   374 - 380   1997年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Radial profile of diffusion-controlled He positive columns 査読あり

    木村高志、加納彰、大江一行

    Physics of Plasmas   2 ( 12 )   4659 - 4661   1995年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Experimental and theoretical investigations of DC glow discharges in argon-nitrogen mixtures 査読あり

    木村高志、赤塚和哉、大江一行

    Journal of Physics D   27   1664 - 1671   1994年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Pressure dependences of electron energy distribution and power dissipation in symmetrical rf helium discharges 査読あり

    木村高志、大江一行

    Journal of Physics D   27   1465 - 1469   1994年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Temporally and spatially resolved optical emission and electron energy distribution function related to ionization waves 査読あり

    K Ohe,S. Takeshima and T Kimura

    Physics of Fluids B   5 ( 7 )   2331 - 2333   1993年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Identification of two modes of ionization waves excited in He positive columns 査読あり

    大江一行、林茂樹、木村高志

    Journal of the Physical Society of Japan   62 ( 10 )   3476 - 3485   1993年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Emissive probe as a reference electrode in probe measurements 査読あり

    木村高志、大江一行

    Review of Scientific Instruments   64 ( 11 )   3274 - 3277   1993年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Electron energy distribution detection in symmetrically driven rf argon discharge 査読あり

    木村高志 大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   32 ( 8 )   3601 - 3605   1993年04月

     詳細を見る

    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Electron energy distribution function in Neon-Nitrogen mixture positive column 査読あり

    木村高志 大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   31 ( 12 )   4051 - 4052   1992年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Three-dimensional structure of finite-amplitude ionization wave packets in He positive columns 査読あり

    K Ohe,A Naito, T Kimura and N Iwama

    Physics of Fluids B   3 ( 12 )   3302 - 3311   1991年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Electron energy distribution function in fluctuating plasmas 査読あり

    木村高志、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   30 ( 4 )   848 - 853   1991年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Detection of electron energy distribution function by finite impulse response filter 査読あり

    木村高志、米谷昭彦、大江一行

    Japanese Journal of Applied Physics   30 ( 8 )   1877 - 1881   1991年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Behaviors of ionization wave packets within finite positive columns 査読あり

    大江一行、木村高志

    Journal of Applied Physics   70 ( 12 )   7282 - 7288   1991年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Time-resolved electron energy distribution function in time-varying weakly ionized plasmas 査読あり

    大江一行、木村高志

    Japanese Journal of Applied Physics   28 ( 10 )   1997 - 2003   1989年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

  • Temporally and spatially resolved wave fluctuations in helium positive columns 査読あり

    大江一行、木村高志

    Journal of Physics D   22 ( 10 )   266 - 271   1989年04月

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    記述言語:英語   掲載種別:研究論文(学術雑誌)  

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