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結晶の違法性を考慮したき裂進展シミュレーションによる銅配線／絶縁層界面の強度評価 International conference
Namsrai Mandakhzul, 小岩康三、大宮正毅、宍戸信之、神谷庄司、佐藤尚、西アダ政弘、鈴木貴志、中村友二、野久尾毅、鈴木俊明
日本機械学会２０１２年材料力学カンファレンス
Event date： 2012.09
Language：Japanese Presentation type：Oral presentation (general)
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銅配線の弾塑性特性を導入した局所界面付着強度評価手法の開発
小岩康三、大宮正毅、宍戸信之、神谷庄司、佐藤尚、西田政弘、鈴木貴志、中村友二、野久尾毅、鈴木俊明
日本機械学会２０１２年材料力学カンファレンス
Event date： 2012.09
Language：Japanese Presentation type：Oral presentation (general)
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TEM内疲労試験その場観察を目的としたMEMS共振デバイスの開発
ラムホアンソン、泉隼人、神谷庄司
日本機械学会２０１２年度年次大会
Event date： 2012.09
Language：Japanese Presentation type：Oral presentation (general)
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結晶組織に起因する銅配線の界面強度分布の試験片寸法効果
陳傳彤、宍戸信之、小岩康三、神谷庄司、佐藤尚、西田政弘、大宮正毅、鈴木貴志、中村友二、鈴木俊明、野久尾毅
日本機械学会２０１２年度年次大会
Event date： 2012.09
Language：Japanese Presentation type：Oral presentation (general)
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単結晶シリコン薄膜の破壊挙動に及ぼす水と温度の影響の評価
Islam Wd. Wahedul, 泉隼人、小川将史、神谷庄司
日本機械学会２０１２年度年次大会
Event date： 2012.09
Language：English Presentation type：Oral presentation (general)
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Nano-scale Fracture Test for Local Interface Adhesion Strength Evaluation in LSI Interconnects International conference
N. Shishido, H. Sugiyama, S. Kamiya, H. Sato, K. Koiwa, M. Nishida, M. Omiya, T. Nagasawa, T. Nokuo, T. Suzuki, T. Nakamura
Microscopy and Microanalysis 2012 Meeting
Event date： 2012.07 - 2012.08
Language：English Presentation type：Oral presentation (general)
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Impact of Grain Boundaries on Adhesion Strength of Cu Interconnect Structures International conference
Shoji Kamiya, Nobuyuki Shishido, Shinsuke Watanabe, Hissashi Sato, Koiwa Kozo, Masaki Omiya, Masahiro Nishida, Takashi Suzuki, Tomoji Nakamura, Takeshi Nokuo, Toshiaki Suzuki
12th International Workshop on Stress-Induced Phenomena in Microelectronics
Event date： 2012.05
Language：English Presentation type：Oral presentation (invited, special)
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In-situ SEM mechanical testing for adhesion energy mapping of multilayered Cu wiring structures in integrated circuits International conference
Shoji Kamiya, Nobuyuki Shishido, Hisashi Sato, Kozo Koiwa, Masaki Omiya, Chen Cuantong, Masahiro Nishida, Tomoji Nakamura, Takeshi Suzuki, Takeshi Nokuo, Tadahiro Nagasawa
International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
Event date： 2012.04
Language：English Presentation type：Oral presentation (invited, special)
