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所属学科・専攻等 |
電気・機械工学教育類 機械工学分野
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職名 |
教授 |
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外部リンク |
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学外略歴
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東北大学工学研究科 准教授
1998年04月 - 現在
国名：日本国
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東北大学工学研究科 講師
1997年04月 - 1998年03月
国名：日本国
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東北大学工学部 講師
1991年04月 - 1997年03月
国名：日本国
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東北大学工学部 助手
1988年04月 - 1991年03月
国名：日本国
論文
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A multidimensional scheme of characterization for performance deterioration behavior of flexible devices under bending deformation 査読あり
Shoji Kamiya, Hayato Izumi, Tomohito Sekine, Nobuyuki Shishido, Hiroko Sugiyama, Yasuko Haga, Takeo Minari, Masaaki Koganemaru, Shizuo Tokito
Thin Solid Films 2019年
担当区分：筆頭著者 記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌）
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High-Strength Sub-Micrometer Spherical Particles Fabricated by Pulsed Laser Melting in Liquid 査読あり
Mitsuhiko Kondo, NobuyukiShishido, Shoji Kamiya, Atsushi Kubo, Yoshitaka Umeno, Yoshie Ishikawa, Naoto Koshizaki
Particle and Particle Systems Characterization 35 ( 7 ) 1800061 2018年07月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌）
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Electronic imaging of subcritical defect accumulation in single crystal silicon under fatigue loading 査読あり
Shoji Kamiya, Akira Kongo, Hiroko Sugiyama, Hayato Izumi
Sensors and Actuators A: Physical 279 705 - 711 2018年
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌）
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World-first electronic imaging of subcritical slip glowth in single crystal silicon under fatigue lopading
Shoji Kamiya, Akira Kongo, Hiroko Sugiyama, Hayato Izumi
The 19th international conference on solid-state sensors, actuators, and microsystems 1229 - 1232 2017年06月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）
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Shear stress enhanced fatigue damage accumulation in single crystalline silicon under cyclic mechanical loading 査読あり 国際誌
Shoji Kamiya, Arasu Udhayakumar, Hayato Izumi, Kozo Koiwa
Sensors and Actuators A: Physical 2016年04月
担当区分：筆頭著者 記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌）
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Investigation of continuous deformation behavior around initial yeild point of single crystal copper by using micro scale torsion test 査読あり 国際誌
Koiwa Kozo, Nobuyuki Shishido, Chuantong Chen, Masaki Omiya, Shoji Kamiya, Hisashi Sato, Masahiro Nishida, Tkashi Suzuki, Tomoji Nakamura, Toshiaki Suzuki, Takeshi Nokuo
Scripta Materialia 111 94 - 97 2016年01月
担当区分：筆頭著者 記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌） 出版者・発行元：Elsevier
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Shear stress with hydrogen, not oxygen, matters to the fatigue lifetime of silicon 国際誌
S. Kamiya, A. Udhayakumar, H. Izumi, K. Koiwa
Proceedings of Transducers 2015, Anchorage, Alaska 2015年06月
担当区分：筆頭著者 記述言語：英語 掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）
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Evaluation of adhesion energy and its correlation to apparent strength for Cu/SiN interface in copper damascene interconnect structures 国際誌
S. Kamiya, C. Chen, N. Shishido, M. Omiya, K. Koiwa, H. Sato, M. Nishida, T. Suzuki, T. Nakamura, T. Nokuo, T. Suzuki
Proceedings of IEEE 2015 International Interconnect Tehcnology Conference/Materials for Advanced Metallization Conference 2015年05月
担当区分：筆頭著者 記述言語：英語 掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）
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Scenario for catastrophic failure in interconnect structures under chip packaging interaction 査読あり 国際誌
Masaki Omiya, Shoji Kamiya, Nobuyuki Shishido, Kozo Koiwa, Hisashi Sato, Masahiro Nishida
Proceedings of IEEE International Reliability Physics Symposium 5C.3.1 - 5C.3.5 2015年04月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（国際会議プロシーディングス）
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Hydrogen enhanced on mechanical fatigue in single crystal silicon 査読あり
Hayato Izumi, Arasu Udhayakumar, Shoji Kamiya
Materials Letters 142 130 - 132 2014年11月
記述言語：英語 掲載種別：研究論文（学術雑誌）
講演・口頭発表等
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き裂進展シミュレーションによるLSIのCu/SiN界面付着強度に対する銅の結晶粒構造の影響の評価
なむすらいまんだふぞる、小岩康三、大宮正毅、宍戸信之、神谷庄司、佐藤尚、西田政弘、鈴木貴志、中村友二、鈴木俊明、野久尾毅
日本機械学会東海支部第６２期総会講演会
開催年月日： 2013年03月
記述言語：日本語 会議種別：口頭発表（一般）
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半導体デバイス配線中のCu／SiN界面局所付着強度に及ぼす銅の結晶方位の影響
大浦由香、杉山祐子、宍戸信之、神谷庄司、佐藤尚、小岩康三、西田政弘、大宮正毅、鈴木貴志、中村友二、鈴木俊明、野久尾毅
日本機械学会東海支部第６２期総会講演会
開催年月日： 2013年03月
記述言語：日本語 会議種別：口頭発表（一般）
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配線銅／保護層界面剥離試験中の銅結晶粒構造その場観察による界面付着強度と局所変形との相関評価 国際会議
松瀬優や、宍戸信之、神谷庄司、佐藤尚、杉山祐子、小岩康三、西田政弘、大宮正毅、鈴木貴志、中村友二、鈴木俊明、野久尾毅
日本機械学会東海支部第６２期総会講演会
開催年月日： 2013年03月
記述言語：日本語 会議種別：口頭発表（一般）
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単結晶シリコンの塑性特性における吸蔵水素の影響 国際会議
向山諒汰、泉隼人、宍戸信之、神谷庄司
日本機械学会東海支部第６２期総会講演会
開催年月日： 2013年03月
記述言語：日本語 会議種別：口頭発表（一般）
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電子線誘起電流を用いた圧縮応力下におけるシリコンの疲労損傷の観察
喜多俊文、神谷庄司、泉隼人、梅原のりつぐ、ところやま貴行、小川将史
日本機械学会東海支部第６２期総会講演会
開催年月日： 2013年03月
記述言語：日本語 会議種別：口頭発表（一般）
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Evaluation for interface strength fluctuations induced by inhomogeneous grain structure of Cu line in LSI Interconnects 国際会議
Chuantong Chen, Nobuyuki Shishido, Shoji Kamiya, Kozo Koiwa, Hisashi Sato, Masaki Omiya, Masahiro Nishida, Takashi Suzuki, Tomoji Nakamura, Takeshi Nokuo, Toshiaki Suzuki
Materials for Advanced Metallization 2013
開催年月日： 2013年03月
記述言語：英語 会議種別：口頭発表（一般）
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Development of interfacial crack extension simulation between coper and insulation layer with multi-grain structure 国際会議
Kozo Koiwa, Masaki Omiya, Nobuyuki Shishido, Shoji Kamiya, Hisashi Sato, Masahiro Nishida, Takashi Suzuki, Tomoji Nakamura, Toshiaki Suzuki, Takeshi Nokuo
Mateirals for Advanced Metallization 2013
開催年月日： 2013年03月
記述言語：英語 会議種別：口頭発表（一般）
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Crystal orientation effect on local adhesion strength of the interface between a damascene copper line and the insulation layer 国際会議
Nobuyuki Shishido, Yuka Oura, Hisashi Sato, Shoji Kamiya, Kozo Koiwa, Masaki Omiya, Masahiro Nishida, Takashi Suzuki, Tomoji Nakamura, Takeshi Nokuo, Toshiaki Suzuki
Materials for Advanced Metallization
開催年月日： 2013年03月
記述言語：英語 会議種別：口頭発表（一般）
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サブミクロンスケールの局所強度評価 国際会議
大宮正毅
テクニカルショウヨコハマ２０１３
開催年月日： 2013年02月
記述言語：日本語 会議種別：ポスター発表
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LSI配線構造中のCu／絶縁膜界面の結晶粒レベル局所強度に対応するサブミクロン機械工学への挑戦
神谷庄司、佐藤尚、大宮正毅、宍戸信之、小岩康三、西田政弘、中村友二、鈴木貴志、野久尾毅、鈴木俊明
第１５５回研究集会「配線・実装技術と関連材料技術」
開催年月日： 2013年02月
記述言語：日本語 会議種別：口頭発表（招待・特別）
受賞
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日本機械学会機械材料・材料加工部門一般表彰（奨励講演論文部門）
2013年01月 日本機械学会
陳傳彤、宍戸信之、小岩康三、神谷庄司、大宮正毅、佐藤尚、西田政弘、鈴木貴志、中村友二、鈴木俊明、野久尾毅
受賞区分：国内学会・会議・シンポジウム等の賞 受賞国：日本国
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Presentation award of MAM 2012 (Materials for Advanced Metallization, Grenoble)
2012年03月 Organizing committee of MAM 2012
Nobuyuki Shishido, et al.
受賞区分：国際学会・会議・シンポジウム等の賞 受賞国：フランス共和国