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所属学科・専攻等 |
物理工学教育類 応用物理分野
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職名 |
准教授 |
論文
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Preparation of titanium carbon nitride films by reactive high power pulsed sputtering Penning discharges
Takashi Kimura, Ryo Yoshida, Kingo Azuma, Setsuo Nakao
Vacuum ( Elsevier ) 157 192 - 201 2018年11月 [査読有り]
研究論文（学術雑誌） 共著
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Preparation of TiSiN films by high power pulsed sputtering Penning discharges
R. Yoshida, T. Kimura
2018 International Symposium on Dry Process 2018年11月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 共著
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Properties of TiON films prepared by reactive high power pulsed magnetron sputtering containing O2 and N2 gases
T. Tanaka, T. Kimura
2018 International Symposium on Dry Process 2018年11月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 共著
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Electrical conductivity of Si-DLC films prepared by HiPIMS combined with PBII system
Y Shibata, T. Kimura, S. Nakao, K. Azuma
2018 International Symposium on Dry Process 2018年11月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 共著
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Comparative investigation on DLC films prepared by reactive high-power impulse magnetron sputtering of Ar/CH4 and Ar/C2H4 mixture
K. Sakai, T. Kimura
2018 International Symposium on Dry Process 2018年11月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 共著
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Deposition and ion irradiation multi-process coating of diamond-like carbon films using bipolar type plasma based ion implantation
S. Nakao, H. Yanai, T. Kimura, K. Azuma
2018 International Symposium on Dry Process 2018年11月
研究論文（国際会議プロシーディングス） 共著
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Plasma based nitrogen ion implantation to hydrogenated diamond-like carbon films
Takashi Kimura, Hidekazu Yanai, Setsuo Nakao, Kingo Azuma
Nuclear Inst. and Methods in Physics Research B ( Elsevier ) 433 87 - 92 2018年10月 [査読有り]
研究論文（学術雑誌） 共著
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Preparation of TiN films by reactive high-power pulsed sputtering Penning discharges
Takashi Kimura, Ryo Yoshida, Toshihiko Mishima, Kingo Azuma, and Setsuo Nakao
Japanese Journal of Applied Physics ( The Japan Society of Applied Physics ) 57 ( 06JE02 ) 1 - 6 2018年06月 [査読有り]
研究論文（学術雑誌） 共著
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Preparation of TiN films by reactive high power pulsed sputter Penning-type discharges
T. Mishima, T. Kimura, R. Yoshida, K. Azuma, S. Nakao
2017 International Symposium on Dry Process 2017年11月 [査読有り]
研究論文（国際会議プロシーディングス） 単著
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Conductive diamond-like carbon films prepared by high power pulsed magnetron sputtering with bipolar type plasma based ion implantation system
S. Nakao, T. Kimura, T. Suyama, K. Azuma
Diamond and Related Materials ( Elsevier ) 77 122 - 130 2017年07月 [査読有り]
研究論文（学術雑誌） 共著
研究発表
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Preparation of TiN films by reactive high power pulsed sputter Penning-type discharges
T. Mishima, T. Kimura, R. Yoshida, K. Azuma, S. Nakao
39th Internatioal Symposium on Dry Process (Tokyo Institute of Technology) 2017年11月 - 2017年11月 The Japan Society of Applied Physics
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Plasma Based Nitrogen Ion Implantation to Hydrogenated Diamond-like Carbon Films
T. Kimura, H.Yanai, S. Nakao, and K. Azuma
11th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering (Jeju, Republic of Korea) 2017年09月 - 2017年09月 Asian Joint Committee for Applied Plasma Science and Engineering
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対向タ－ゲット型反応性HPPSによるTiCN膜の作製
三島俊彦、吉田涼、中尾 節男、東 欣吾、木村 高志
第78回応用物理学会秋季学術講演会 (福岡国際会議場) 2017年09月 - 2017年09月 応用物理学会
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ホロ－形状ターゲットを持つ高電力パルススパッタの電気特性
木村高志，三島俊彦
第34回プラズマプロセシング研究会/第29回プラズマ材料科学シンポジウム (北海道大学) 2017年01月 - 2017年01月 応用物理学会
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Preparation of Conductive DLC Films by High Power Pulsed Magnetron Sputtering Combined with Plasma Based Ion Implantation System
T. Kimura, H. Kamata, S. Nakao and K. Azuma
日本MRS年次大会 (横浜市開港記念会館) 2016年12月 - 2016年12月 日本MRS
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Surface Modification of DLC Films by Plasma Based Nitrogen Ion Implantation Method
H. Yanai, T. Kimura , S. Nakao and K. Azuma
日本MRS年次大会 (横浜開港記念会館) 2016年12月 - 2016年12月 日本MRS
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The deposition of Titanium Nitride thin film using a high-power pulse Penning sputtering under the Argon/Nitrogen mixture gas atmosphere
Y. Kusuhashi, K. Azuma, T. Kimura
APSPT-9/SPSM-28 (Nagasaki University) 2015年12月 - 2015年12月 APSPT-9/SPSM-28 International Organizing Committee
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Formation of hydrogenated amorphous carbon films by reactive high power impulse magnetron sputtering containing C2H2 gas
Takashi Kimura, Hikaru Kamata
ICRP-9/SPP-33/GEC-68 (Hawaii Convention Center, Honolulu, USA) 2015年10月 - 2015年10月 The Japanese Society of Applied Physics, American Physical Society
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Preparation of hydrogenated diamond-like carbon films by reactive Ar/CH4 high power impulse magnetron sputtering with negative pulse voltage
Takashi Kimura, Hikaru Kamata
ICRP-9/SPP-33/GEC-68 (Hawaii Convention Center, Honolulu,USA) 2015年10月 - 2015年10月 The Japanese Society of Applied Physics, American Physical Society
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Conductive DLC films prepared by high power pulsed magnetron sputtering with bipolar pulse voltage source for substrate
Takashi Kimura, Taku Suyama, Kingo Azuma, Setsuo Nakao, Tsutomu Sonoda, Takeshi Kusumori, Kimihiro Ozaki
AEPSE2015 (Ramada Plaza Hotel,Jeju, Korea ) 2015年09月 - 2015年09月 AJC-APSE