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専門分野（科研費分類） 【 表示 ／ 非表示 】

専門分野（科研費分類）

論文 【 表示 ／ 非表示 】

論文

• Effect of hydrogen on the mobility of surface defects inducued in plasma etching process for silicon

  M. Nakamura, T. Kim, H. Izumi, S. Kamiya

  Proceedings of Plasma Surface Engineering 2016     2016年09月

  研究論文（国際会議プロシーディングス）   共著

• Shear stress enhanced fatigue damage accumulation in single crystalline silicon under cyclic mechanical loading

  S. Kamiya, A. Udhayakumar, H. Izumi, K. Koiwa

  Sensors and Actuators A: Physical     2016年06月  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）   共著

• SHEAR STRESS WITH HYDROGEN, NOT OXYGEN, MATTERS TO THE FATIGUE LIFETIME OF SILICON

  S. Kamiya, A. Udhayakumar, H. Izumi, and K. Koiwa

  The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2015     2015年06月

  研究論文（国際会議プロシーディングス）   共著

• Hydrogen enchanced on mechanical fatigue in single crystal silicon

  H.Izumi, A. Udhayakumar, S. Kamiya

  Materials Letters     2015年03月  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）   共著

• Fatigue failure and fracture surface analysis of single crystal silicon exposed to oxygen, hydrogen and humidity air environment

  A. udhayakumar, S. Kamiya, H. Izumi, N. Shishido

  41th Internatinal Conference on Metallurgical Coating and Thin Films     2014年04月

  研究論文（国際会議プロシーディングス）   共著

• Effect of hydrogen at room temperature on electronic and mechanical properties of dislocations in silicon

  M. Ogawa, S. Kamiya, H. Izumi, Y. Tokuda

  Materials Letters     2014年04月  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）   共著

• Defect accumulation and strength reduction in single crystalline silicon induced by cyclic compressive stress

  S. Kamiya, T. Kiata, H. Izumi

  Sensors and Actuators A     2014年02月  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）   共著

• Effect of hydrogen on the mechanical properties of silicon crystal surface

  H. Izumi, R. Mukaiyama, N. Shishido, S. Kamiya

  ASME 2013 International Technical Conference and Exhibition on Packaging and Interraction of Electronic and Photnic Microsystems (InterPACK2013)     2013年07月  [査読有り]

  研究論文（国際会議プロシーディングス）   共著

• Direct observation of damage accumulation process inside silicon under mechanical fatigue loading

  S. Kamiya, R. Hirai, H.Izumi, N. Umehara, T. Tokoroyama

  The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystem (Transduers 2013)     2013年06月

  研究論文（国際会議プロシーディングス）   共著

• A prediction scheme of the static fracture strength of MEMS structures based on the characterization of damage distribution on a processed surface

  V. L. Huy, S. Kamiya, K. Nagayoshi, H. Izumi, J. Gaspar, O. Paul

  Journal of Micromechanics and Microengineering   23   1 - 10   2013年02月  [査読有り]

  研究論文（学術雑誌）   共著

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著書 【 表示 ／ 非表示 】

著書

• Fabrication of a micro needle made of biodegradable polymer material, mechatronics for safety

  T.Aoki, H.Izumi, S.Aoyagi (担当： 共著 )

  Security and Dependability in a New Era  2007年04月

総説・解説記事 【 表示 ／ 非表示 】

総説・解説記事

• MEMS技術を援用したマイクロニードルの開発

  青柳誠司，泉隼人

  精密工学会誌 ( 公益社団法人精密工学会 )  74 ( 11 ) 1156 - 1159   2008年11月

  総説・解説（国際会議プロシーディングズ）   共著

• マイクロマシン技術を応用した微小ランセット針の作製

  青柳誠司，泉隼人

  砥粒加工学会誌 ( 砥粒加工学会 )    2006年05月

  総説・解説（国際会議プロシーディングズ）   共著

研究発表 【 表示 ／ 非表示 】

研究発表

• Effect of hydrogen on the mobility of surface defects inducued in plasma etching process for silicon

  M. Nakamura, T. Kim, H. Izumi, S. Kamiya

  15th International Conference on Plasma Surface Engineering  2016年09月  -  2016年09月 

• シリコンへの水素注入とその機械的特性に及ぼす水素の影響

  キムテフン，中村克，泉隼人，神谷庄司

  日本機械学会東海支部第65期総会・講演会  2016年03月  -  2016年03月 

• 単結晶シリコンの疲労損傷集積に対する圧縮応力と引張応力の効果

  三輪祐己, 泉隼人, Vu Le Huy, 神谷庄司

  日本機械学会東海支部第65期総会・講演会  2016年03月  -  2016年03月 

• Si結晶中の水素が機械的性質に及ぼす影響

  中村克，キムテフン，泉隼人，神谷庄司

  日本機械学会 M&M2015材料力学カンファレンス  2015年11月  -  2015年11月 

• 単結晶シリコンの疲労寿命に及ぼす湿度と液体水環境の効果

  E.R. Shrinathan，R. Usui, H. Izumi, S. Kamiya

  日本機械学会 2015年度年次大会  2015年09月  -  2015年09月 

• SHEAR STRESS WITH HYDROGEN, NOT OXYGEN, MATTERS TO THE FATIGUE LIFETIME OF SILICON

  S. Kamiya, A. Udhayakumar, H. Izumi, and K. Koiwa

  The 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2015  2015年06月  -  2015年06月 

• Effect of hydrogen on fatigue lifetime of silicon with the aid of shear and compressive stress

  A. Udhayakumar, H. Izumi, K. Koiwa, S. Kamiya

  日本機械学会東海支部第64期総会・講演会  2015年03月  -  2015年03月 

• 単結晶シリコンの疲労破壊に対する液体環境の影響の評価

  臼井亮介，泉隼人，喜多俊文，アラスウダヤクマール，神谷庄司

  日本機械学会東海支部第64期総会・講演会  2015年03月  -  2015年03月 

• Effect of crystal orientation and environment on fatigue lifetime of single crystal silicon

  A. Udhayakumar, H. Izumi, S. Kamiya, K. Koiwa

  第6回マイクロ・ナノ工学シンポジウム  2014年10月  -  2014年10月 

• シリコン単結晶における疲労損傷の集積過程に及ぼす応力比の効果

  喜多俊文，泉隼人，神谷庄司，Vu Le Huy

  日本機械学会2014年度年次大会  2014年09月  -  2014年09月 

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